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秦唐新时代气体小编带你了解陕西特种气体系统的设计与施工(一)

所属分类:公司头条    发布时间: 2021-12-14    作者:admin
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     陕西特种气体一般按气体性质不同分为惰性气体、易燃易爆气体、有毒气体和腐蚀性气体;根据供应和包装的不同,分为特殊气体和散装特殊气体。

供气系统的选择

陕西特种气体

1、简单的供气系统

简易供气系统主要面向4英寸及以下的半导体芯片厂、半导体材料科研机构,以及一些单一的工艺设备。它们的制造工艺简单,通常不需要连续供气,供气系统的投资预算较低。

由于气流量小,不常使用,专用气源多为普通钢瓶(<50L)。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简易控制面板;配备继电器控制、自动切换、手动吹扫、手动放空、有害气体紧急切断阀。惰性气体瓶架采用全手动系统,有的甚至采用单瓶系统。所有气体共用一个气室,甚至没有气室。特殊的气瓶和输送系统有时会放置在回风管道中,或者直接放置在工艺制造设备旁边或旁边。如果没有特别危险的气体,一般采用普通排气系统。简单的供气系统通常存在安全隐患。

2、常规供气系统

常规供气系统主要用于4-6英寸大型集成电路厂、50MW以下太阳能电池生产线、发光二极管芯片生产线等中型用气电子行业。对气体纯度控制要求不苛刻,在满足安全、节省投资的前提下,系统配置尽可能简单。

陕西特种气体由普通钢瓶(<50L)供应。特殊气体输送系统采用气瓶柜。配备全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气;多重安全保护措施,泄漏检测,远程紧急关闭;专用氮吹扫查产地等。 VMB采用分支气动阀,氮气吹扫,真空辅助抽真空。惰性气体大部分采用半自动气瓶架,继电器控制,自动切换,手动吹扫,手动放空; VMB主气动阀,氮气吹扫;分支气动阀、氮气吹扫和真空辅助抽真空。气室和排气系统按气体性质分类。

3、散装特种供气系统

大型供气系统主要用于8-12英寸(1英寸=25.4毫米)VLSI装置(气体种类包括SiH4、N2O、2、C2F6、NH3等)、100MW以上太阳能电池生产线(气体种类包括NH3)、发光二极管外延生产线(气体种类包括NH3)、第5代及以上液晶显示器工厂(气体种类包括SIH4、 CL2、NH3、NF3)、光纤(气体种类包括SiCl4)、硅外延生产线(气体种类包括HCL)等行业。他们投资规模巨大,采用.先进的技术和工艺设备,对气体的需求量大,对稳定不间断供应、纯度控制和安全生产提出了.严格的要求。

这些工厂的特殊气体供应,除了普通钢瓶(50L及以下)包装的特殊气体外,还有很多种类的特殊气体是大包装容器常用的,所以称为散装特殊气体包括Y钢缸(450L)、T钢缸(980L)、集装箱舱(940L)、ISO罐(22500L)、鱼雷车(13400L)等。

大体积特种供气系统(BSGS)采用全自动PLC控制器,彩色触摸屏;气体面板采用气动阀门和压力传感器,可实现自动切换、自动氮气吹扫、自动真空辅助排气;多重安全保护措施,漏电检测,远程紧急切断;专用氮气吹扫的来源等。 专用气采用独立气源,多用点采用VMB或VMP支路供气,VMB或VMP采用支路气动阀、氮气吹扫、真空辅助抽真空等。由于BSGS用量大采用气源、独立气室和独立排气系统。

燃气房的选择与设计

除简单的供气系统外,专用气室一般与主室分开建造。规划需要考虑建筑物的防火、泄爆、防火防爆间隔距离、有害物质总量控制等。常规供气系统一般在一个气室中使用多个气瓶柜;对于大宗特殊气体,气室根据气体特性和相容性分为可燃气体室、腐蚀性气室、惰性气体室和气体室。硅烷气室、毒气室等。气室必须通风良好。气室的选择和设计一般由设计院完成。

以上就是关于陕西特种气体系统的设计与施工的一些内容了,希望对您有所帮助,更多相关资讯请关注秦唐新时代气体小编哦